大气与环境光学论文格式范文(关于大气环境的(5)
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【摘 要】:Excimer lasers可经由混合两种氧体-氮(krypton)及氟(fluorine)来制造雷射光。将气体注入2呎长的铝管中,并在管子两端施以12000伏特高压,这个电压将以每
Excimer lasers可经由混合两种氧体-氮(krypton)及氟(fluorine)来制造雷射光。将气体注入2呎长的铝管中,并在管子两端施以12000伏特高压,这个电压将以每秒750亿次的对气体进行放电,引起氪和氟原子的暂时性结合,所形成的氪氟分子被称为excited dimmer (已激发的二分子聚合物,因此简称为excimer)。但是当电压拿掉时,这个不稳定分子就会解裂,同时间它将释放出一道0.25微米波长深紫外线雷射光(deep-ultraviolet last light)。1986年,Akins及Sandstrom开始在大学实验室中建立excimer雷射的原型。由于创业初期主要是借用加州大学的研究设备,他们还积欠学校大约$250,000元的债务。同时间,Cymer Inc.也设法自美国国防部争取委托研究资金,以维持公司的营运。在研究过程中他们遭遇许多技术瓶颈,例如,以12000伏特高压放电将会产生每秒上千次的剧烈震动,这时如何使雷射光源能长期稳定的激发,就会是一大技术难题。为了使Cymer公司能够继续运作,Akins及Sandstrom甚至将他们的房屋抵押,以筹措初期的研发资金。1988年,Cymer Inc.接到由风险投资家Richard Abraham所提供的第一笔外部资金。Abraham曾在Fairchild半导体、Motorola,以及德州仪器等公司担任研究发工作与高阶经理人,因此他能了解深紫外线雷射光源对于未来IC产业制程创新的重要性。Abraham提出的投资条件是:“Cymer公司必须完全专注在excimer雷射光源在半导体制程设备上的应用开发”。接着,当Canon及Nikon等IC设备制造商的科学家及经理人到Cymer进行参访后,也决定加入投资Cymer的行列。原因是Canon及Nikon所生产的IC芯片成影设备”steppers”,需要使用先进的光源模块,而excimer雷射光源将会是一种重大创新,因此他们购买Cymer公司6%的股权。1995年,由于IC产品对于芯片密度需求的提升,制程设备厂商开始纷纷转换使用0.25微米波长的excimer雷射光做为成影的光源。因此Cymer推出每套价值45万元的eximer雷射模式,成为炙手可热的产品。 Cymer Inc.的营业额也由1995年的1800万美元,迅速成长至1996年的6500万美元。1996年9月,Cymer的股票以每股9.5元公开上市,到了12月底,股价已上涨至42元。在两次公开发行活动中,Cymer Inc.顺利自市场上筹集到8000万的资金。1997年2月,Cymer的股价已达到50元,而Akins持有2%的股权,价值高达200万美元。显然,他不会再需要考虑去卖汉堡了。
文章来源:《大气与环境光学学报》 网址: http://www.dqyhjgxxb.cn/zonghexinwen/2022/1212/601.html